导语：近日，国产光刻技术取得进展，有望提升国产半导体制造水平。同时，2月设备进口量同比高增，为后续扩产打下基础。在这一背景下，我们重申当前设备板块的机会。建议关注北方华创、中微公司等，并留意拓荆科技、华海清科、芯源微、盛美上海等细分赛道龙头。但需注意需求、技术迭代和贸易摩擦等风险。详细投资思考和风险提示可参考原文。
此前，我们提出设备板块有望迎来beta+alpha机会，现如今看，光刻机到位&存储扩产带来beta修复，同时国产光刻技术进展有望助力国产设备alpha成长。我们重申当前设备板块机会！
☀国产光刻技术逐步提高
3/22日，华为的【自对准四重图案化半导体装置的制作方法以及半导体装置】专利申请公布。该专利公开了自对准四重图案化（SAQP）半导体装置的制作方法，即通过四重的光刻、刻蚀以达到缩小制程线宽的目的。SAQP技术有望利用现有浸没式光刻机制造更低线宽晶体管，从而提升国产半导体制造水平。
☀2月设备进口量同比高增，为后续扩产打好铺垫
根据海关总署数据，2月中国前道晶圆制造设备进口额18.4亿美元，同比+38%，其中【其他光刻设备】进口额4.3亿美元，同比+132%；进口数量37台，对应单价1154万美元。我们认为23Q3以来光刻设备进口单价大幅走高，或反映高端光刻机的进口到位。后续国内晶圆厂扩产将拉动其他刻蚀、沉积等设备的需求。
【设备海关进口数据库欢迎联系】
?投资思考：
➠设备的beta：国内晶圆厂全球占比仍低。以存储为例，全球DRAM产能约180万片/月，NAND产能约150万片/月，而目前国产DRAM和NAND的全球产能占比低于10%，而海力士中国地区销售占比约30%，反映国产存储扩产空间仍巨大。另一方面，高端光刻机前期的进口到位，为后续扩产也打好了基础。
➠设备的alpha：首先设备的国产化率在逐步提升，其次先进制程越来越成为拉动设备订单的重点（龙头设备厂商24年订单中预计先进制程占比50%以上）。其次，国产光刻技术的进步也有望带来更高端领域的国产设备机会。
建议关注：
?北方华创：24年半导体设备新签有望高增，刻蚀&薄膜沉积核心设备进展顺利；
?中微公司：刻蚀实力优秀，受益于存储系扩产。
?细分赛道龙头：拓荆科技、华海清科、芯源微、盛美上海等。
?零部件：富创精密、新莱应材、正帆科技等。
风险提示：需求、技术迭代不及预期、贸易摩擦风险。
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